隔热部件(16)具备第1主面(161)和第2主面(162)，在被对象物夹持的情况下，所述第1主面(161)与一个对象物对置，所述第2主面(162)位于与第1主面(161)相反的一侧，并与另一对象物对置。隔热部件(16)具有含气孔的陶瓷的多孔质结构，ZrO2粒子以及存在于ZrO2粒子的表面的异种材料形成多孔质结构的骨架。异种材料包含选自SiO2、TiO2、La2O3以及Y2O3中的至少一种。异种材料存在于ZrO2粒子的表面、尤其是粒子间的连接部，从而较高地维持了隔热部件(16)的机械强度，并且得到优异的隔热性能。