发明授权
- 专利标题： 一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置
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申请号： CN201811525526.6申请日： 2018-12-13
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公开(公告)号： CN109590560B公开(公告)日： 2020-11-27
- 发明人: 罗俊锋 , 郭凤歧 , 徐国进 , 陈淼琴 , 李勇军 , 庞欣 , 熊柏青 , 贺昕 , 刘晓 , 崔佳
- 申请人： 有研亿金新材料有限公司
- 申请人地址： 北京市昌平区超前路33号
- 专利权人： 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人： 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市昌平区超前路33号
- 代理机构： 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 张文宝
- 主分类号： B23K1/00
- IPC分类号： B23K1/00 ; B23K3/00 ; B23K3/08 ; B23K37/04
摘要：
本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置，该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用，使靶材、焊料与背板之间均匀结合，提高大面积铁磁性靶材焊接质量，靶材焊合率高，靶材厚度均匀性好。该焊接技术，操作简单，可重复性强，利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接，靶材的溅射性能明显提高。
公开/授权文献
- CN109590560A 一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置 公开/授权日：2019-04-09
IPC分类:
