一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置
摘要:
本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置,该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用,使靶材、焊料与背板之间均匀结合,提高大面积铁磁性靶材焊接质量,靶材焊合率高,靶材厚度均匀性好。该焊接技术,操作简单,可重复性强,利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接,靶材的溅射性能明显提高。
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