- 专利标题: 一种基于BeZnOS四元合金的自发极化场增强型紫外光探测器及其制备方法
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申请号: CN201811489159.9申请日: 2018-12-06
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公开(公告)号: CN109585593B公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 何云斌 , 王其乐 , 卢寅梅 , 张武忠 , 黎明锴 , 常钢 , 李派 , 陈俊年 , 张清风
- 申请人: 湖北大学 , 武汉睿联智创光电有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 专利权人: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- 当前专利权人: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 代理机构: 北京金智普华知识产权代理有限公司
- 代理商 杨采良
- 主分类号: H01L31/108
- IPC分类号: H01L31/108 ; H01L31/0296 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种基于BeZnOS四元合金的自发极化场增强型紫外光探测器及其制备方法。所述探测器从下至上依次包括m面蓝宝石衬底、有源层、一对平行金属电极,其中:所述有源层为m面BeZnOS四元合金薄膜,所述平行金属电极垂直于所述BeZnOS四元合金薄膜的c轴方向。本发明通过在单晶m面蓝宝石上生长外延的m面BeZnOS薄膜,蒸镀垂直于薄膜c轴的金属电极,充分利用自发极化电场和外加电场叠加增强促进光生载流子的分离,增强光探测能力。另外,本发明制得的MSM结构的紫外光探测器结构简单,制作工艺也简单,探测器对300nm波长的紫外光具有良好的探测能力,且响应速度快、暗电流小,性能稳定。
公开/授权文献
- CN109585593A 一种基于BeZnOS四元合金的自发极化场增强型紫外光探测器及其制备方法 公开/授权日:2019-04-05
IPC分类: