发明公开
- 专利标题: 制造半导体器件的方法与3D存储器件
- 专利标题(英): Method and 3D memory device for manufacturing semiconductor device
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申请号: CN201811095237.7申请日: 2018-09-19
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公开(公告)号: CN109148453A公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 胡斌 , 肖莉红
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京成创同维知识产权代理有限公司
- 代理商 范芳茗; 高青
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L27/11582 ; H01L27/1157
摘要:
本申请公开了一种制造半导体器件的方法与3D存储器件。该方法包括:在半导体衬底上形成绝缘叠层结构,包括交替堆叠的第一层间绝缘层与第二层间绝缘层;贯穿所述绝缘叠层结构形成隔离结构;将所述隔离结构一侧的所述第一层间绝缘层替换为栅极导体,形成第一栅叠层结构;以及将所述隔离结构另一侧的所述第二层间绝缘层替换为栅极导体,形成第二栅叠层结构,其中,所述第一隔离结构将所述第一栅叠层结构与所述第二栅叠层结构分隔,在与所述半导体衬底表面垂直的方向上,所述第一栅叠层结构的栅极导体和所述第二栅叠层结构的栅极导体错开设置。通过将第一栅叠层结构的栅极导体和第二栅叠层结构的栅极导体错开设置,从而增大了半导体器件的存储密度,提高了半导体器件的空间利用率。
公开/授权文献
- CN109148453B 制造半导体器件的方法与3D存储器件 公开/授权日:2023-01-24
IPC分类: