制造半导体器件的方法与3D存储器件
摘要:
本申请公开了一种制造半导体器件的方法与3D存储器件。该方法包括:在半导体衬底上形成绝缘叠层结构,包括交替堆叠的第一层间绝缘层与第二层间绝缘层;贯穿所述绝缘叠层结构形成隔离结构;将所述隔离结构一侧的所述第一层间绝缘层替换为栅极导体,形成第一栅叠层结构;以及将所述隔离结构另一侧的所述第二层间绝缘层替换为栅极导体,形成第二栅叠层结构,其中,所述第一隔离结构将所述第一栅叠层结构与所述第二栅叠层结构分隔,在与所述半导体衬底表面垂直的方向上,所述第一栅叠层结构的栅极导体和所述第二栅叠层结构的栅极导体错开设置。通过将第一栅叠层结构的栅极导体和第二栅叠层结构的栅极导体错开设置,从而增大了半导体器件的存储密度,提高了半导体器件的空间利用率。
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