本发明涉及一种钙钛矿薄膜后处理设备，包括溶液喷涂清洗部分和/或溶剂沉积部分，溶液喷涂清洗部分包括第一传送装置、第一密闭腔室以及溶液喷涂装置、高压气体喷嘴装置和高温干燥装置，高压气体喷嘴装置设置在溶液喷涂装置和高温干燥装置之间，第一传送装置横跨第一密闭腔室。溶剂沉积部分包括传动轴装置、第二密闭腔室以及加热装置和溶剂蒸发装置，溶剂蒸发装置靠近溶液喷涂清洗部分，传动轴装置的转动轴从上下设置的加热装置和溶剂蒸发装置之间通过。本发明还涉及一种钙钛矿薄膜后处理设备的使用方法和应用。本发明对已制备了钙钛矿薄膜基片进行后续清洗和退火处理，对钙钛矿薄膜的缺陷进行修补处理，进一步提高钙钛矿薄膜的质量。