用于FDSOI的电源轨及MOL构造
Abstract:
本发明涉及用于FDSOI的电源轨及MOL构造,其提供在平面晶体管的源极/漏极与局部互连或第一金属化层电源轨之间的一种电性连接,包括电性耦合至该源极/漏极的第一接触区,电性耦合至该第一接触区及该晶体管的栅极的第二接触区,以及电性耦合至该局部互连或第一金属化层电源轨的V0。沟槽硅化物不存在于该晶体管中。也提供一种基于接触区的电源轨脊柱,其包括第一接触区,第二接触区,以及在该第一接触区上面且电性耦合至该第一接触区的邻近V0双向卡钉,以及在该第二接触区及该V0双向卡钉上面且电性耦合至该第二接触区及该V0双向卡钉的V0。
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