用于金属膜厚测量的多量程双探头装置
Abstract:
本发明公开了一种用于金属膜厚测量的多量程双探头装置,包括:激励源,用于提供振荡源;双探头,双探头具有第一线圈通道和第二线圈通道,且对应包括第一线圈和第二线圈,其中,第二线圈的穿透深度大于第一线圈的穿透深度;采集模块,用于在探头正下方产生磁场,且在探头正下方的被测金属薄膜的表面产生感应磁场时,采集探头的等效阻抗;中央处理模块,用于切换线圈通道,使得第一线圈或第二线圈工作,并且根据等效阻抗得到线圈阻抗的变化值,以根据线圈阻抗的变化值得到被测金属薄膜的厚度。该装置可以通过非接触式测量金属薄膜厚度,不仅可以进行定点式坐标测量,而且可以进行薄膜边缘测量,有效提高探头的分辨率和稳定性。
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