Invention Publication
- Patent Title: 用于金属膜厚测量的多量程双探头装置
- Patent Title (English): Multi-range double probe device for measuring thickness of metal film
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Application No.: CN201810270764.0Application Date: 2018-03-29
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Publication No.: CN108709488APublication Date: 2018-10-26
- Inventor: 王军星 , 路新春 , 王同庆 , 郭振宇 , 赵德文 , 沈攀 , 冯巨震
- Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区清华园;
- Assignee: 清华大学,天津华海清科机电科技有限公司
- Current Assignee: 清华大学,华海清科股份有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华园;
- Agency: 北京清亦华知识产权代理事务所
- Agent 黄德海
- Main IPC: G01B7/06
- IPC: G01B7/06

Abstract:
本发明公开了一种用于金属膜厚测量的多量程双探头装置,包括:激励源,用于提供振荡源;双探头,双探头具有第一线圈通道和第二线圈通道,且对应包括第一线圈和第二线圈,其中,第二线圈的穿透深度大于第一线圈的穿透深度;采集模块,用于在探头正下方产生磁场,且在探头正下方的被测金属薄膜的表面产生感应磁场时,采集探头的等效阻抗;中央处理模块,用于切换线圈通道,使得第一线圈或第二线圈工作,并且根据等效阻抗得到线圈阻抗的变化值,以根据线圈阻抗的变化值得到被测金属薄膜的厚度。该装置可以通过非接触式测量金属薄膜厚度,不仅可以进行定点式坐标测量,而且可以进行薄膜边缘测量,有效提高探头的分辨率和稳定性。
Public/Granted literature
- CN108709488B 用于金属膜厚测量的多量程双探头装置 Public/Granted day:2020-08-07
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