发明授权
- 专利标题: 真空涂布系统中涂布超长片型基材,特别是玻璃板,装置及方法
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申请号: CN201680061073.9申请日: 2016-10-20
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公开(公告)号: CN108138315B公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 奥拉夫·加韦 , 豪格·里查特 , 珍·埃尔里希
- 申请人: 格林策巴赫机械制造有限公司
- 申请人地址: 德国阿斯巴赫-巴曼海
- 专利权人: 格林策巴赫机械制造有限公司
- 当前专利权人: 格林策巴赫机械制造有限公司
- 当前专利权人地址: 德国阿斯巴赫-巴曼海
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 宋融冰
- 优先权: 102015013799.9 2015.10.26 DE
- 国际申请: PCT/DE2016/000376 2016.10.20
- 国际公布: WO2017/071677 DE 2017.05.04
- 进入国家日期: 2018-04-18
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56
摘要:
本发明是关于在真空涂布系统中涂布超长片型基材,特别是玻璃板,的装置与方法,所述系统具有下列特征:a)设置在入口侧上的一系列连接的腔室,其由每一基材平板(9)通过,即锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3),其中这些腔室中的每一个腔室的入口处可通过止回阀(8、11、15)以气密方式关闭,其中所述传送腔室(3)之后是处理腔室(4)的区域,且所述处理腔室(4)之后是出口侧系列连接的传送腔室(5)、缓冲腔室(7)与锁定腔室(8);b)建构在辊子上的输送装置(10);c)在缓冲腔室(2)的区域中具有适配凸缘(14)的单个高能真空泵(13);d)在缓冲腔室(2)的区域中的至少2个流动挡板(12);e)用于所述流动挡板(12)的纵向位移的系统(16),和用于所述流动挡板(12)的高度调整的系统(17);f)用于控制动态过程的组件。
公开/授权文献
- CN108138315A 真空涂布系统中涂布超长片型基材,特别是玻璃板,装置及方法 公开/授权日:2018-06-08
IPC分类: