公开(公告)号：CN108138315B

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201680061073.9

申请日：2016-10-20

申请人： 格林策巴赫机械制造有限公司

发明人： 奥拉夫·加韦 ,  豪格·里查特 ,  珍·埃尔里希

IPC分类号： C23C14/56

摘要： 本发明是关于在真空涂布系统中涂布超长片型基材，特别是玻璃板，的装置与方法，所述系统具有下列特征：a)设置在入口侧上的一系列连接的腔室，其由每一基材平板(9)通过，即锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3)，其中这些腔室中的每一个腔室的入口处可通过止回阀(8、11、15)以气密方式关闭，其中所述传送腔室(3)之后是处理腔室(4)的区域，且所述处理腔室(4)之后是出口侧系列连接的传送腔室(5)、缓冲腔室(7)与锁定腔室(8)；b)建构在辊子上的输送装置(10)；c)在缓冲腔室(2)的区域中具有适配凸缘(14)的单个高能真空泵(13)；d)在缓冲腔室(2)的区域中的至少2个流动挡板(12)；e)用于所述流动挡板(12)的纵向位移的系统(16)，和用于所述流动挡板(12)的高度调整的系统(17)；f)用于控制动态过程的组件。

公开(公告)号：CN108138315A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680061073.9

申请日：2016-10-20

申请人： 格林策巴赫机械制造有限公司

发明人： 奥拉夫·加韦 ,  豪格·里查特 ,  珍·埃尔里希

IPC分类号： C23C14/56

摘要： 本发明是关于在真空涂布系统中涂布超长片型基材，特别是玻璃板，的装置与方法，所述系统具有下列特征：a)设置在入口侧上的一系列连接的腔室，其由每一基材平板(9)通过，即锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3)，其中这些腔室中的每一个腔室的入口处可通过止回阀(8、11、15)以气密方式关闭，其中所述传送腔室(3)之后是处理腔室(4)的区域，且所述处理腔室(4)之后是出口侧系列连接的传送腔室(5)、缓冲腔室(7)与锁定腔室(8)；b)建构在辊子上的输送装置(10)；c)在缓冲腔室(2)的区域中具有适配凸缘(14)的单个高能真空泵(13)；d)在缓冲腔室(2)的区域中的至少2个流动挡板(12)；e)用于所述流动挡板(12)的纵向位移的系统(16)，和用于所述流动挡板(12)的高度调整的系统(17)；f)用于控制动态过程的组件。