发明授权
- 专利标题: 力学量测定装置
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申请号: CN201680053429.4申请日: 2016-07-29
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公开(公告)号: CN108027290B公开(公告)日: 2020-07-21
- 发明人: 芦田喜章 , 相马敦郎
- 申请人: 日立汽车系统株式会社
- 申请人地址: 日本茨城县
- 专利权人: 日立汽车系统株式会社
- 当前专利权人: 日立安斯泰莫株式会社
- 当前专利权人地址: 日本茨城县
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 金成哲; 宋春华
- 优先权: 2015-192517 2015.09.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/072253 2016.07.29
- 国际公布: WO2017/056673 JA 2017.04.06
- 进入国家日期: 2018-03-14
- 主分类号: G01L1/18
- IPC分类号: G01L1/18 ; G01B7/06 ; G01L9/00
摘要:
本发明的目的在于提供一种应变传感器模块构造,抑制由于在应变传感器模块的电气配线用部件等中使用的树脂部件的吸湿引起的传感器输出变动,应变测量精度优异。力学量测定装置的特征在于,具有:应变传感器,其在半导体基板的表面形成有多个压电电阻元件和电极垫;电气配线用树脂部件,其具备与多个所述电极垫电连接的多个配线;变形体,其与所述应变传感器的背面接合;以及粘接部,其将所述电气配线用树脂部件和所述变形体粘合,在所述电气配线用树脂部件的应变传感器附近区域设置有槽。
公开/授权文献
- CN108027290A 力学量测定装置 公开/授权日:2018-05-11