一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法
摘要:
本发明公开了一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法。该方法将生长得到的碳化硅晶锭进行平面磨、滚圆加工;对滚圆后的晶锭进行定向,确定基准轴方向为 方向;沿 方向加工非对称V型槽;晶锭加工制备成晶片;加工后的晶片其V型槽形成夹角θ,形成夹角θ的两条斜边分别设为a和b,且两条斜边的长度满足a≠b;以两条斜边a<b还是两条斜边a>b即可判断出所对应的晶片表面为碳面或是硅面。本发明降低了对晶片的损伤,提高了晶片的有效使用面积,降低了成本,高效实现了对晶片碳硅面的判断;同时能省去晶片原有的大定位边,可以减少再生长得到的晶体缺陷,提高晶体品质。
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