发明授权
CN107991230B 一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法
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申请号: CN201810016138.9申请日: 2018-01-08
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公开(公告)号: CN107991230B公开(公告)日: 2019-12-17
- 发明人: 窦瑛 , 徐永宽 , 洪颖 , 杨丹丹 , 高飞
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 申请人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 代理机构: 天津中环专利商标代理有限公司
- 代理商 王凤英
- 主分类号: G01N19/00
- IPC分类号: G01N19/00
摘要:
本发明公开了一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法。该方法将生长得到的碳化硅晶锭进行平面磨、滚圆加工;对滚圆后的晶锭进行定向,确定基准轴方向为 方向;沿 方向加工非对称V型槽;晶锭加工制备成晶片;加工后的晶片其V型槽形成夹角θ,形成夹角θ的两条斜边分别设为a和b,且两条斜边的长度满足a≠b;以两条斜边a<b还是两条斜边a>b即可判断出所对应的晶片表面为碳面或是硅面。本发明降低了对晶片的损伤,提高了晶片的有效使用面积,降低了成本,高效实现了对晶片碳硅面的判断;同时能省去晶片原有的大定位边,可以减少再生长得到的晶体缺陷,提高晶体品质。
公开/授权文献
- CN107991230A 一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法 公开/授权日:2018-05-04