Invention Publication
CN107889539A 贵金属在导电连接器的形成中的使用
无效 - 驳回
- Patent Title: 贵金属在导电连接器的形成中的使用
- Patent Title (English): THE USE OF NOBLE METALS IN THE FORMATION OF CONDUCTIVE CONNECTORS
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Application No.: CN201580080587.4Application Date: 2015-06-03
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Publication No.: CN107889539APublication Date: 2018-04-06
- Inventor: C.J.耶泽夫斯基 , S.穆克尔杰 , D.B.伯格斯特龙 , T.K.英杜库里 , F.格里焦 , R.V.切比亚姆 , J.S.克拉克
- Applicant: 英特尔公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 申屠伟进; 杜荔南
- International Application: PCT/US2015/033930 2015.06.03
- International Announcement: WO2016/195672 EN 2016.12.08
- Date entered country: 2017-12-01
- Main IPC: H01L21/768
- IPC: H01L21/768 ; H01L23/532

Abstract:
在一个实施例中,一种用于微电子组件的导电连接器可以形成有贵金属层,其充当附着/润湿层、设置在屏障衬垫与导电填充材料之间。在另外的实施例中,导电连接器可以具有直接设置在屏障衬垫上的贵金属导电填充材料。贵金属作为附着/润湿层或作为导电填充材料的使用可以改进间隙填充和附着,这可以导致基本上没有空隙的导电连接器,从而相对于没有作为附着/润湿层或导电填充材料的贵金属的导电连接器而改进导电连接器的电气性能。
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