贵金属在导电连接器的形成中的使用
Abstract:
在一个实施例中,一种用于微电子组件的导电连接器可以形成有贵金属层,其充当附着/润湿层、设置在屏障衬垫与导电填充材料之间。在另外的实施例中,导电连接器可以具有直接设置在屏障衬垫上的贵金属导电填充材料。贵金属作为附着/润湿层或作为导电填充材料的使用可以改进间隙填充和附着,这可以导致基本上没有空隙的导电连接器,从而相对于没有作为附着/润湿层或导电填充材料的贵金属的导电连接器而改进导电连接器的电气性能。
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