Invention Publication
- Patent Title: 能节省终端面积的屏蔽栅MOSFET器件及其制备方法
- Patent Title (English): Shield gate MOSFET device capable of reducing terminal area and preparation method therefor
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Application No.: CN201710997732.6Application Date: 2017-10-24
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Publication No.: CN107799602APublication Date: 2018-03-13
- Inventor: 徐承福 , 朱阳军
- Applicant: 贵州芯长征科技有限公司
- Applicant Address: 贵州省贵阳市观山湖区林城西路摩根中心A座10层A-10-003号
- Assignee: 贵州芯长征科技有限公司
- Current Assignee: 贵州芯长征科技有限公司
- Current Assignee Address: 贵州省贵阳市观山湖区林城西路摩根中心A座10层A-10-003号
- Agency: 苏州国诚专利代理有限公司
- Agent 韩凤
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/423 ; H01L21/336

Abstract:
本发明涉及一种能节省终端面积的屏蔽栅MOSFET器件及其制备方法,其元胞区采用沟槽结构并设置屏蔽栅结构,终端保护区内设置终端沟槽,终端沟槽的宽度大于元胞沟槽的宽度,在所述终端沟槽的侧壁以及底壁设置终端沟槽绝缘氧化层,并在设置终端沟槽绝缘氧化层的终端沟槽内填充终端沟槽导电多晶硅;邻近元胞区的终端沟槽与邻近终端保护区的元胞沟槽侧壁外上方的第二导电类型基区接触,在第一导电类型漂移层上方设置源极金属,所述源极金属与第二导电类型基区、第二导电类型基区内的第一导电类型源区以及终端沟槽导电多晶硅欧姆接触,与现有工艺兼容,能有效提高耐压能力,且可节省终端的面积,安全可靠。
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IPC分类: