- 专利标题： 基座支撑部及包含基座支撑部的外延生长设备
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申请号： CN201710619571.7申请日： 2014-03-13
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公开(公告)号： CN107578984B公开(公告)日： 2021-04-09
- 发明人: 冈部晃 , 森义信
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权： 2013-066897 20130327 JP 13/927,553 20130626 US
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/67 ; H01L21/687 ; C30B25/12 ; C23C16/48 ; C23C16/458 ; C23C16/455 ; C23C16/44
摘要：
本发明的基座支撑部包括基座轴及基板升降部。基座轴包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基板升降部包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基座轴的臂从基座轴的支撑柱侧起包括第一臂、耦接至第一臂的第二臂及耦接至第二臂的第三臂，第二臂提供有通孔，所述通孔沿垂直方向穿过第二臂，且基座轴的第一臂的宽度小于基座轴的第二臂的宽度。
公开/授权文献
- CN107578984A 基座支撑部及包含基座支撑部的外延生长设备 公开/授权日：2018-01-12
IPC分类:
