发明公开
CN107256853A 钝化后互连结构及其形成方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 钝化后互连结构及其形成方法
- 专利标题(英): Post-passivation interconnect structure and method of forming the same
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申请号: CN201710272117.9申请日: 2012-02-09
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公开(公告)号: CN107256853A公开(公告)日: 2017-10-17
- 发明人: 吴逸文 , 林正怡 , 何明哲 , 刘重希
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 13/291,508 20111108 US
- 主分类号: H01L23/522
- IPC分类号: H01L23/522 ; H01L23/488 ; H01L23/498 ; H01L21/768
摘要:
一种半导体器件包括:导电层,该导电层通过浸镀锡工艺形成于钝化后互连(PPI)结构的表面上;聚合物层,该聚合物层形成于导电层上并且经图案化具有暴露出一部分导电层的开口;以及焊料凸块,该焊料凸块形成于聚合物层的开口中以电连接至PPI结构。本发明提供了钝化后互连结构及其形成方法。
IPC分类: