本发明提供一种蚀刻组合物，其作为铜系金属膜用蚀刻组合物，包含过氧化氢、含氟化合物、唑化合物、具有氮原子和羧基的水溶性化合物、磷酸盐化合物、多元醇型表面活性剂和两种以上有机酸混合物，上述两种以上有机酸混合物必须包含柠檬酸，且柠檬酸与其他有机酸的重量比为0.9:1～1:0.9。在蚀刻本发明的液晶显示装置用阵列基板的制造中所使用的铜系金属膜时，即使铜金属的厚度增加，也能够均等地调节纵向及横向蚀刻速度而形成微细图案的铜系金属配线。