一种改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法
摘要:
一种改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法,包括如下步骤:a)利用锯片在LED芯片表面进行半切;b)对半切后的LED芯片进行烘烤;c)对烘烤后的LED芯片进行蓝膜贴膜;d)将蓝膜贴膜后的LED芯片进行二次烘烤;e)将二次烘烤后的LED芯片进行全切;f)将全切后的LED芯片清洗后进行扩膜。借助加热器对芯片贴膜前进行烘烤,有效释放芯片自身应力,降低芯片自身的形变张力。同时通过对贴膜后的芯片连带蓝膜一起进行烘烤,提高了蓝膜的延展性,使膜彻底舒张开,提高蓝膜的粘性。有效改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法,作业简单且实效性高,有效解决掉管芯的问题,提高产品产出率。
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