- 专利标题: 一种改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法
- 专利标题(英): Method for improving drop of tube cores in GaAs-based LED chip cutting process
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申请号: CN201710398203.4申请日: 2017-05-31
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公开(公告)号: CN107068820A公开(公告)日: 2017-08-18
- 发明人: 郑军 , 邢建国 , 闫宝华 , 汤福国 , 刘琦 , 徐现刚
- 申请人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L21/78
摘要:
一种改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法,包括如下步骤:a)利用锯片在LED芯片表面进行半切;b)对半切后的LED芯片进行烘烤;c)对烘烤后的LED芯片进行蓝膜贴膜;d)将蓝膜贴膜后的LED芯片进行二次烘烤;e)将二次烘烤后的LED芯片进行全切;f)将全切后的LED芯片清洗后进行扩膜。借助加热器对芯片贴膜前进行烘烤,有效释放芯片自身应力,降低芯片自身的形变张力。同时通过对贴膜后的芯片连带蓝膜一起进行烘烤,提高了蓝膜的延展性,使膜彻底舒张开,提高蓝膜的粘性。有效改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法,作业简单且实效性高,有效解决掉管芯的问题,提高产品产出率。
公开/授权文献
- CN107068820B 一种改善GaAs基LED芯片切割过程中掉管芯的方法 公开/授权日:2019-03-01
IPC分类: