发明授权
- 专利标题: 一种熔盐热扩散处理设备及其应用
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申请号: CN201610074177.5申请日: 2016-02-02
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公开(公告)号: CN107022733B公开(公告)日: 2020-03-27
- 发明人: 苏兴治 , 侯娟 , 俞国军 , 陈燕军 , 谢雷东 , 侯惠奇 , 王建强
- 申请人: 中国科学院上海应用物理研究所
- 申请人地址: 上海市嘉定区宝嘉公路2019号
- 专利权人: 中国科学院上海应用物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海应用物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区宝嘉公路2019号
- 代理机构: 上海弼兴律师事务所
- 代理商 薛琦; 余化鹏
- 主分类号: C23C8/54
- IPC分类号: C23C8/54 ; C23C8/44 ; C23C8/48 ; C23C8/42
摘要:
本发明公开了一种熔盐热扩散处理设备及其应用。其包括一供气系统、一真空系统、一炉体、一循环水盘管、一样品室、一坩埚和一支撑杆;供气系统通过进气管与炉体连通,真空系统通过第一出气管与炉体连通;循环水盘管套设于炉体的上部;坩埚设于炉体底部,坩埚包括坩埚本体和坩埚盖板,坩埚本体的上端外侧设有第一环形凹槽,坩埚盖板开口向下包住坩埚口,并伸入第一环形凹槽中;支撑杆依次贯穿炉体上的炉门、坩埚盖板,并伸入坩埚中;支撑杆伸入坩埚的一端连有样品室。本发明设备处理效率高,系统密闭,能控制系统的水氧含量,防止熔盐蒸汽或其分解产物扩散到坩埚外能减少熔盐烟雾影响,避免对设备造成腐蚀或积累在加热炉的电阻丝上造成设备短路。
公开/授权文献
- CN107022733A 一种熔盐热扩散处理设备及其应用 公开/授权日:2017-08-08
IPC分类: