形状测量设备的控制方法
摘要:
本发明涉及一种形状测量设备的控制方法。在从触针针尖和工件相接触的状态起使触针针尖与工件分离的退避期间,监视是否存在触针针尖和工件之间的接触。在退避期间检测到触针针尖和工件之间的接触的情况下,使探测器移动至触针针尖不接触工件的位置,并且执行恢复处理。在退避开始点在工件的表面上的点与触针针尖和工件之间的接触点之间的距离是Lm的情况下,考虑到触针针尖的直径d,通过将(Lm‑d)乘以系数k(0
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