一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法
摘要:
本发明公开了一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法,其将纯度为99.99%以上的金属镓原料溶解于酸中,配制澄清的镓盐溶液,加入沉淀剂产生沉淀物,将获得的沉淀经洗涤、过滤、干燥、煅烧制成单分散超细氧化镓粉体;用合成的单分散氧化镓粉体作为原料,经模压成型和冷等静压强化获得氧化镓生坯,将生坯放在高温炉中烧结,制成高密度、微观结构均匀的氧化镓陶瓷靶材。本发明具有工艺简单、操作方便、产量高等优点,适合工业化生产。
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