- 专利标题: 光学式气体浓度测定方法以及基于该方法的气体浓度监视方法
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申请号: CN201580063098.8申请日: 2015-11-20
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公开(公告)号: CN107003236B公开(公告)日: 2020-08-11
- 发明人: 永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一 , 山路道雄 , 须川成利 , 黑田理人
- 申请人: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 株式会社富士金,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人: 株式会社富士金,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权: 2014-237220 2014.11.23 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/082742 2015.11.20
- 国际公布: WO2016/080532 JA 2016.05.26
- 进入国家日期: 2017-05-19
- 主分类号: G01N21/27
- IPC分类号: G01N21/27 ; C23C16/52 ; G01N21/33 ; H01L21/205
摘要:
提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光,由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光,形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号,根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
公开/授权文献
- CN107003236A 光学式气体浓度测定方法以及基于该方法的气体浓度监视方法 公开/授权日:2017-08-01