抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物
Abstract:
通过曝光产生酸、且对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的抗蚀剂组合物,其特征在于,含有对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的基材成分(A)、和通过曝光产生酸的产酸剂成分(B),产酸剂成分(B)包含通式(b1)所示的化合物(B1)。通式(b1)中,Rb1表示包含极性基团的碳原子数7~30的带桥键的脂环式基团。Yb1表示可具有取代基(其中,排除选自芳香族烃基和乙烯基的取代基)的碳原子数9以上的直链状烃基。Vb1表示氟代亚烷基。m为1以上的整数,Mm+表示m价的有机阳离子。[化1]
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