薄膜型发光二极管及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种薄膜型发光二极管及其制作方法,其采用图形化衬底进行外延生长,然后进行芯片制程中在衬底剥离过程中,使衬底图形的尖端从其衬底主体上断裂并保留在外延层上,从而在发光外延叠层的出光面上形成蓝宝石微透镜。所述薄膜型发光二极管包括发光外延叠层,所述发光外延叠层包含第一类型导体层、发光层和第二类型半导体层,其表面设有一系列由透明生长衬底构成的微透镜。
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