一种高频吸收二极管芯片及其生产方法
摘要:
本发明提供一种高频吸收二极管芯片及其生产方法,该芯片包括衬底,衬底的上表面形成有外延层,外延层上设有基区窗口,基区窗口包括压点区以及位于压点区外围的分压区,外延层将压点区与分压区隔开,基区窗口上形成有第一离子扩散层,第一离子扩散层上设有发射区窗口,发射区窗口上形成有第二离子扩散层,压点区内的第一离子扩散层、第二离子扩散层的上表面设有钝化层,分压区内的第一离子扩散层上表面形成有氧化层,氧化层、钝化层均延伸至外延层的上表面。采用本发明的芯片特别适宜于RCD电路中尖峰吸收,同时,该工艺形成的芯片在125℃下的高温漏电流比传统扩散型二极管芯片小50%以上,缺陷率低,而且本工艺简单,易于实现批量化生产。
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