发明授权
- 专利标题: 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉
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申请号: CN201710101282.8申请日: 2017-02-24
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公开(公告)号: CN106637091B公开(公告)日: 2019-08-30
- 发明人: 张卫卫 , 王孟孟 , 朱家宽 , 刘杰鹏 , 高锦龙
- 申请人: 旭科新能源股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧
- 专利权人: 旭科新能源股份有限公司
- 当前专利权人: 安徽煌道柔性光伏科技有限公司
- 当前专利权人地址: 230601 安徽省合肥市经济技术开发区青龙潭路3435号智能科技园(南区)C1栋1楼
- 代理机构: 北京科亿知识产权代理事务所
- 代理商 林燕辉
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/06 ; H01L31/18 ; F27B17/00
摘要:
用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器;所述隔热屏设在导流件和坩埚外围,所述导流件为管状空心结构,坩埚是具有一开口的罐状容器,导流件与坩埚通过开口相连通,所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔;所述导流加热器设置在导流件外围,所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间;所述坩埚加热器设置在坩埚外围,所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间;所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道,所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。
公开/授权文献
- CN106637091A 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉 公开/授权日:2017-05-10
IPC分类: