用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉
摘要:
用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器;所述隔热屏设在导流件和坩埚外围,所述导流件为管状空心结构,坩埚是具有一开口的罐状容器,导流件与坩埚通过开口相连通,所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔;所述导流加热器设置在导流件外围,所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间;所述坩埚加热器设置在坩埚外围,所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间;所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道,所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。
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