发明公开
- 专利标题: 与RRAM工艺相兼容的串联MIM结构
- 专利标题(英): Series MIM structures compatible with RRAM process
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申请号: CN201610755281.0申请日: 2016-08-29
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公开(公告)号: CN106601905A公开(公告)日: 2017-04-26
- 发明人: 涂国基 , 杨晋杰 , 朱文定
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 14/883,808 20151015 US
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00 ; H01L23/522 ; H01L27/24
摘要:
本发明的实施例涉及形成防止对MIM去耦电容器的损坏的集成电路的方法和相关的结构。在一些实施例中,该方法包括在衬底上方的下部ILD层内形成一个或多个下部金属互连结构。多个MIM结构形成在下部金属互连结构上方,并且一个或多个上部金属互连结构形成在多个MIM结构上方的上部ILD层内。下部和上部金属互连结构一起电耦合在第一电压电位和第二电压电位之间串联连接的多个MIM结构。通过放置串联连接的多个MIM结构,第一电压电位(如,电源电压)的耗散在MIM结构上方扩散出去,从而减小在MIM结构的任何一个的电极之间的电压电位差。本发明的实施例还提供了与RRAM工艺相兼容的串联MIM结构。
公开/授权文献
- CN106601905B 与RRAM工艺相兼容的串联MIM结构 公开/授权日:2022-06-28
IPC分类: