发明授权
- 专利标题: 抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器
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申请号: CN201510593942.X申请日: 2015-09-17
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公开(公告)号: CN106549097B公开(公告)日: 2019-05-10
- 发明人: 李浩 , 尤立星 , 王镇
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L39/00
- IPC分类号: H01L39/00 ; H01L39/02
摘要:
本发明提供一种抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器,包括:衬底;高反膜,位于所述衬底表面;超导纳米线,位于所述高反膜表面;介质层,位于所述高反膜表面,且包覆所述超导纳米线。本发明的抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器在高反膜上加工制备超导纳米线,该器件结构可以通过正面光耦合将光直接照射到超导纳米线上,可以避免光学腔体结构中远距离聚焦的问题,进而避免了衬底Fabry‑Perot腔对吸收效率的影响,且对目标波长具有较高的吸收效率,有效提高了器件探测效率;同时,本发明的抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器通过在高反膜表面生长包覆超导纳米线的高折射率介质层,可以降低器件的偏振相关性。
公开/授权文献
- CN106549097A 抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器 公开/授权日:2017-03-29
IPC分类: