发明公开
- 专利标题: 接合体的制造方法
- 专利标题(英): Method for producing bonded body
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申请号: CN201580031872.7申请日: 2015-03-31
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公开(公告)号: CN106463415A公开(公告)日: 2017-02-22
- 发明人: 松林良 , 森永雄司
- 申请人: 新电元工业株式会社
- 申请人地址: 日本国东京都千代田区大手町二丁目2番1号
- 专利权人: 新电元工业株式会社
- 当前专利权人: 新电元工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国东京都千代田区大手町二丁目2番1号
- 代理机构: 上海德昭知识产权代理有限公司
- 代理商 郁旦蓉
- 国际申请: PCT/JP2015/060286 2015.03.31
- 国际公布: WO2016/157460 JA 2016.10.06
- 进入国家日期: 2016-12-14
- 主分类号: H01L21/52
- IPC分类号: H01L21/52
摘要:
一种制造具有通过金属粒子浆将基板与电子部件接合的构造的接合体的接合体的制造方法,包括:组合体形成工序,形成将电子部件通过所述金属粒子浆载置在基板上的组合体;组合体配置工序,在互相相对配置的两片加热板之间配置组合体;以及接合工序,通过使两片加热板中的至少一片朝另一片移动,从而对组合体加压并加热后将基板与电子部件接合,其中,以通过两片加热板开始对组合体加压时的组合体的温度在0℃~150℃的范围内为条件实施接合工序。根据本发明的接合体的制造方法,由于是以加压开始时的组合体的温度在0℃~150℃的范围内为条件来实施接合工序的,因此在接合工序中,在对组合体进行加压前金属粒子浆就不易引发烧结反应,其结果就是,能够以比以往更高的接合力将基板与电子部件接合。
公开/授权文献
- CN106463415B 接合体的制造方法 公开/授权日:2019-01-01
IPC分类: