鳍式场效应晶体管及其形成方法
摘要:
一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,其中,所述形成方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底表面具有凸起的鳍部;形成横跨所述鳍部的顶部和侧壁、并位于半导体衬底表面的金属硫化物层,所述金属硫化物层后续作为鳍式场效应晶体管的沟道区;形成位于所述金属硫化物层表面的第一栅极结构,所述第一栅极结构横跨鳍部的顶部和侧壁;形成分别位于所述第一栅极结构两侧的源电极层和漏电极层。形成的鳍式场效应晶体管的载流子迁移率高,晶体管性能优越。
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