发明公开
- 专利标题: 鳍式场效应晶体管及其形成方法
- 专利标题(英): Fin field effect transistor and forming method thereof
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申请号: CN201510387770.0申请日: 2015-07-02
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公开(公告)号: CN106328535A公开(公告)日: 2017-01-11
- 发明人: 肖德元
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 吴敏
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L29/78 ; H01L29/10 ; H01L29/24
摘要:
一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,其中,所述形成方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底表面具有凸起的鳍部;形成横跨所述鳍部的顶部和侧壁、并位于半导体衬底表面的金属硫化物层,所述金属硫化物层后续作为鳍式场效应晶体管的沟道区;形成位于所述金属硫化物层表面的第一栅极结构,所述第一栅极结构横跨鳍部的顶部和侧壁;形成分别位于所述第一栅极结构两侧的源电极层和漏电极层。形成的鳍式场效应晶体管的载流子迁移率高,晶体管性能优越。
公开/授权文献
- CN106328535B 鳍式场效应晶体管及其形成方法 公开/授权日:2019-08-27
IPC分类: