- 专利标题: 一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法
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申请号: CN201510267705.4申请日: 2015-05-22
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公开(公告)号: CN106298557B公开(公告)日: 2019-08-02
- 发明人: 沈文江
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 武岑飞
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60
摘要:
本发明公开一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法,包括:在第一基片的键合面上形成第一金图案层;在第二基片的键合面上形成凸点图案层;在第二基片的键合面上依次形成覆盖所述凸点图案层的第二金图案层和铟图案层;将所述第一基片的键合面与所述第二基片的键合面对准并固定,以进行键合。本发明使用了在金属薄膜底层增加凸点图案层,此凸点图案层不仅降低了键合对准精度,同时也增强了键合过程中的接触力,可以大大提高键合质量。
公开/授权文献
- CN106298557A 一种基于Au/In等温凝固的低温键合方法 公开/授权日:2017-01-04
IPC分类: