- 专利标题: 制作不连续直线图案的方法与不连续直线图案结构
- 专利标题(英): Method for making discontinuous linear pattern and discontinuous linear pattern structure
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申请号: CN201510258199.2申请日: 2015-05-20
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公开(公告)号: CN106298461A公开(公告)日: 2017-01-04
- 发明人: 陈育德 , 刘恩铨 , 曾嘉勋 , 苏信逢 , 洪钰婷 , 蔡孟霖
- 申请人: 联华电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陈小雯
- 主分类号: H01L21/027
- IPC分类号: H01L21/027 ; H01L29/06
摘要:
本发明公开一种制作不连续直线图案的方法与不连续直线图案结构。该方法包含在基底上形成DSA材料层,在相分离制作工艺后形成周期性排列图案,其包括交替排列的多个第一聚合物结构与第二聚合物结构。然后在DSA材料层上形成第一掩模覆盖周期性排列图案的第一部分,然后移除被第一掩模曝露的第一聚合物结构,再移除第一掩模。接着形成第二掩模覆盖周期性排列图案的第二部分,其中第一与第二部分之间具有间隙。然后移除被第二掩模所暴露的第二聚合物结构,最后移除第二掩模。所留下的部分第一聚合物结构与部分第二聚合物结构彼此不互相连接。
公开/授权文献
- CN106298461B 制作不连续直线图案的方法与不连续直线图案结构 公开/授权日:2020-07-28
IPC分类: