一种基于并联柔顺机构的精密测头
摘要:
本发明公开了一种基于并联柔顺机构的精密测头,包括圆环状的外壳,外壳的顶部设有上端盖,上端盖的内侧中心吊装一个载物体,外壳的底部连接并联柔顺机构,并联柔顺机构的中心设有测杆,测杆远离动平台的一端端部设有测球;并联柔顺机构的中心处均匀分布三个移动反射镜,载物体的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪,载物体在激光干涉仪的下方分别设有固定干涉镜,每个激光干涉仪对准一个固定干涉镜,通过并联柔顺机构代替常见的弹性支承,使测头的结构得到简化,同时大幅度减少了并联柔顺机构与外壳之间的间隙和摩擦,提高了测头的精度。由于并联柔顺机构的结构呈整体化,还有利于实现测头结构的小型化,减小自身重力对测量的影响。
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