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发明授权
CN106104385B 光刻设备、用于将物体定位在光刻设备中的方法以及器件制造方法 有权

  • 专利标题： 光刻设备、用于将物体定位在光刻设备中的方法以及器件制造方法
  • 申请号： CN201580015661.4
    申请日： 2015-04-15
  • 公开(公告)号： CN106104385B
    公开(公告)日： 2018-08-10
  • 发明人: S·C·布勒斯
  • 申请人： ASML荷兰有限公司
  • 申请人地址： 荷兰维德霍温
  • 专利权人： ASML荷兰有限公司
  • 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
  • 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
  • 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
  • 代理商 王静
  • 优先权： 14164988.9 2014.04.16 EP
  • 国际申请： PCT/EP2015/058209 2015.04.15
  • 国际公布： WO2015/158793 EN 2015.10.22
  • 进入国家日期： 2016-09-22
  • 主分类号： G03F7/20
  • IPC分类号： G03F7/20
光刻设备、用于将物体定位在光刻设备中的方法以及器件制造方法
摘要：
本发明涉及一种光刻设备，包括：第一物体；第二物体，可沿移动方向相对于第一物体移动；一组缆线和/或管材，布置于所述第一物体和所述第二物体之间；引导筒，用以引导所述一组缆线和管材，所述引导筒可绕垂直于所述移动方向延伸的旋转轴线旋转；筒定位装置，用以定位所述引导筒，使得所述引导筒遵循由所述第二物体相对于所述第一物体的移动所导致的所述一组缆线和/或管材的移动；和引导结构，用以引导所述引导筒沿所述移动方向的移动。
摘要（英）：

A lithographic apparatus including: a first object, a second object which is moveable relative to the first object in a moving direction, a set of cables and/or tubing arranged between the first object and the second object, a guiding drum to guide the set of cables and/or tubing, the guiding drum being rotatable about a rotation axis extending perpendicular to the moving direction, a drum positioning device to position the guiding drum such that it follows movement of the set of cables and/or tubing caused by movement of the second object relative to the first object and a guiding structure to guide movement of the guiding drum in the moving direction.

公开/授权文献
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