Invention Publication
- Patent Title: 基于钴的互连及其制造方法
- Patent Title (English): COBALT BASED INTERCONNECTS AND METHODS OF FABRICATION THEREOF
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Application No.: CN201580002697.9Application Date: 2015-02-21
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Publication No.: CN106068549APublication Date: 2016-11-02
- Inventor: C·J·杰泽斯基 , T·K·因杜库里 , R·V·谢比亚姆 , C·T·卡弗
- Applicant: 英特尔公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚
- Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 陈松涛; 王英
- International Application: PCT/IB2015/000198 2015.02.21
- International Announcement: WO2015/092780 EN 2015.06.25
- Date entered country: 2016-05-20
- Main IPC: H01L21/3205
- IPC: H01L21/3205 ; H01L21/28

Abstract:
实施例包括金属互连结构,所述金属互连结构包括:设置在衬底上的电介质层;所述电介质层中的开口,其中,所述开口具有侧壁并且暴露所述衬底和互连线的至少其中之一的导电区;设置在所述导电区之上和所述侧壁上的粘附层,所述粘附层包括锰;以及所述开口内和所述粘附层的表面上的填充材料,所述填充材料包括钴。本文中描述了其它实施例。
Public/Granted literature
- CN106068549B 基于钴的互连及其制造方法 Public/Granted day:2022-02-11
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IPC分类: