一种基于低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器及其制备方法
Abstract:
一种基于低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器及制备方法。要解决现有的太赫兹超材料滤波器的工作波长固定,工作带宽有限,应用范围窄,结构及制备工艺复杂,可靠性低的问题。本发明滤波器为多层平板结构,包括玻璃衬底层、第一金属结构层、绝缘层、金属种子层、第二金属结构层、液晶材料和玻璃盖板;制备方法:一、制备金属结构层;二、制备绝缘层;三、制备金属种子层;四、制备电镀用模具结构;五、制备周期性缝隙金属结构;六、填充液晶材料,盖玻璃盖板。本发明滤波器所需的电压减小、结构简单,调谐范围宽,响应时间快,极化不敏感,化学稳定性好。本发明方法适用于制备低电压驱动液晶材料的可调谐太赫兹超材料滤波器。
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