发明授权
- 专利标题： 法布里-珀罗干涉滤光器
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申请号： CN201580007963.7申请日： 2015-02-03
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公开(公告)号： CN105992964B公开(公告)日： 2019-01-18
- 发明人: 柴山胜己 , 笠原隆 , 广瀬真树 , 川合敏光
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦; 黄浩
- 优先权： 2014-025289 2014.02.13 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/052925 2015.02.03
- 国际公布： WO2015/122316 JA 2015.08.20
- 进入国家日期： 2016-08-10
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00 ; G02B5/28
摘要：
本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
公开/授权文献
- CN105992964A 法布里-珀罗干涉滤光器 公开/授权日：2016-10-05
