发明授权
- 专利标题: 存储器结构及其制造方法
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申请号: CN201510098924.4申请日: 2015-03-06
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公开(公告)号: CN105990252B公开(公告)日: 2019-01-11
- 发明人: 叶腾豪 , 施彦豪 , 胡志玮
- 申请人: 旺宏电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L27/11582 ; H01L27/1157 ; H01L21/768 ; H01L23/528
摘要:
本发明公开了在此提供一种存储器结构及其制造方法。这种存储器结构包括一基板、多个叠层、多个存储器层、一导电材料及多个导线。叠层位于基板上。叠层通过多个沟槽彼此分离。叠层分别包括交替堆栈的多个导电串线及多个绝缘串线。存储器层分别共形覆盖叠层。导电材料位于沟槽中及叠层上。在沟槽中的导电材料在这些沟槽各者中形成一或多个孔洞。导线位于导电材料上。导线分别包括一第一部分及一第二部分,第一部分及第二部分彼此连接,第一部分沿着垂直于叠层的延伸方向的方向延伸,第二部分沿着叠层的延伸方向延伸。
公开/授权文献
- CN105990252A 存储器结构及其制造方法 公开/授权日:2016-10-05
IPC分类: