发明公开
- 专利标题: 一种GaAs基发光二极管芯片及其切割方法
- 专利标题(英): GaAs-based light-emitting diode chip and cutting method thereof
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申请号: CN201610489614.X申请日: 2016-06-27
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公开(公告)号: CN105957937A公开(公告)日: 2016-09-21
- 发明人: 李晓明 , 汤福国 , 王建华 , 闫宝华 , 陈康 , 刘琦 , 徐现刚
- 申请人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 吕利敏
- 主分类号: H01L33/20
- IPC分类号: H01L33/20 ; H01L33/30 ; H01L33/00 ; H01L21/78
摘要:
一种GaAs基发光二极管芯片及其切割方法,包括:1)制备GaAs基外延片的P电极和N电极;2)对步骤1)制备的GaAs基外延片进行N面切割,形成切割道,所述切割道周期与P电极周期一致,且所述切割道与所述P电极的外围边缘重合;所述N面是指所述GaAs基外延片具有N电极的背面;所述P面是指所述GaAs基外延片具有P电极的正面;3)将GaAs基外延片按照切割道劈裂:GaAs基外延片N面朝下、P面朝上放置于劈裂机劈裂。本发明通过先N面切割再采用劈裂的方法将GaAs基发光二极管芯片分割开,减少了P面出光面的损耗,大大增加了出光面积,提升了芯片的品质,提升了产品的合格率,并能进行规模化生产。
IPC分类: