一种GaAs基发光二极管芯片及其切割方法
摘要:
一种GaAs基发光二极管芯片及其切割方法,包括:1)制备GaAs基外延片的P电极和N电极;2)对步骤1)制备的GaAs基外延片进行N面切割,形成切割道,所述切割道周期与P电极周期一致,且所述切割道与所述P电极的外围边缘重合;所述N面是指所述GaAs基外延片具有N电极的背面;所述P面是指所述GaAs基外延片具有P电极的正面;3)将GaAs基外延片按照切割道劈裂:GaAs基外延片N面朝下、P面朝上放置于劈裂机劈裂。本发明通过先N面切割再采用劈裂的方法将GaAs基发光二极管芯片分割开,减少了P面出光面的损耗,大大增加了出光面积,提升了芯片的品质,提升了产品的合格率,并能进行规模化生产。
0/0