光栅尺可靠性试验装置及方法
Abstract:
本发明涉及一种光栅尺可靠性试验装置及方法,克服了目前光栅尺可靠性试验装置和检测系统不能够模拟实际工况的问题,试验装置由模拟工况装置、光栅尺安装装置和检测控制系统组成;模拟工况装置包括温湿度试验箱、光栅尺驱动系统、振动加载台、油雾控制站;光栅尺安装装置包括光栅尺安装平台、开放式及封闭式光栅尺主尺、开放式及封闭式光栅尺读数头;检测控制系统包括激光干涉仪、光栅尺检测仪和控制柜;试验方法包括以下步骤:1、性能参数输入工控机软件;2、安装受试光栅尺;3、进行温度和湿度模拟加载、振动加载、供电电压变化、油雾对光栅尺可靠性影响试验;4、检测受试光栅尺精度;5、分析记录试验数据。
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