发明授权
CN105874558B 带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质
失效 - 权利终止
- 专利标题： 带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质
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申请号： CN201480072130.4申请日： 2014-12-03
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公开(公告)号： CN105874558B公开(公告)日： 2017-08-25
- 发明人: 大南佑介 , 中平健治 , 田中麻纪 , 河西晋佐
- 申请人： 株式会社日立高新技术
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 范胜杰; 曹鑫
- 优先权： 2014-012083 20140127 JP
- 国际申请： PCT/JP2014/081922 2014.12.03
- 国际公布： WO2015/111307 JA 2015.07.30
- 进入国家日期： 2016-07-01
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/16 ; H01J37/28
摘要：
本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
公开/授权文献
- CN105874558A 带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质 公开/授权日：2016-08-17
