发明公开
- 专利标题: 半导体器件、制备半导体器件的方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method
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申请号: CN201510007371.7申请日: 2015-01-07
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公开(公告)号: CN105826376A公开(公告)日: 2016-08-03
- 发明人: 禹国宾 , 何永根
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 俞涤炯
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/10 ; H01L21/336
摘要:
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种半导体器件及制备半导体器件的方法,通过在核心器件区依次制备SiGe层和TiN层,以作为后续制备的样本栅与衬底之间的层间介质层,并于介质层中形成具有侧墙及层间介质薄膜的样本栅极结构之后,依次去除样本栅、SiGe层和TiN层,以在核心器件区中采用化学氧化工艺制备栅氧化物薄膜及位于其上的金属栅极,进而使得形成器件结构的EOT尺寸满足工艺需求;由于在去除SiGe层和TiN层时,不会对上述的侧墙及层间介质薄膜造成损失,进而保证了后续制备的金属栅极结构的完整性,大大提高了最终制备器件的性能及良率。
公开/授权文献
- CN105826376B 半导体器件、制备半导体器件的方法 公开/授权日:2019-01-22
IPC分类: