- 专利标题: 一种硅上直接生长高掺杂钇铁石榴石薄膜的制备方法
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申请号: CN201610107438.9申请日: 2016-02-26
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公开(公告)号: CN105714379B公开(公告)日: 2018-07-27
- 发明人: 毕磊 , 张燕 , 王闯堂 , 邓龙江
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 电子科技大学专利中心
- 代理商 张杨
- 主分类号: C30B29/28
- IPC分类号: C30B29/28 ; C30B23/00
摘要:
本发明属于磁性氧化物薄膜的生长技术领域,具体涉及种硅上直接生长高掺杂钇铁石榴石薄膜的制备方法。本发明通过改变稀土掺杂钇铁石榴石薄膜生长过程中的激光能量密度1.8J/cm至4.0J/cm、薄膜沉积温度400℃至850℃以及薄膜沉积气压1mTorr至20mTorr。将在硅基底上生长钇铁石榴石薄膜中的稀土掺杂浓度由原来的33%提高到了50%,材料在光通信1550nm波长的法拉第旋光常数由2800度/厘米提升为6000度/厘米,极大的增强了材料的磁光性能。
公开/授权文献
- CN105714379A 一种硅上直接生长高掺杂钇铁石榴石薄膜的制备方法 公开/授权日:2016-06-29
IPC分类: