一种晶片中心定位装置
摘要:
本发明提供一种晶片中心定位装置。该晶片中心定位装置包括:水平设置的中心盘;用于放置晶片的承片台,承片台平行于中心盘设置,且位于中心盘的上方;在承片台的下表面,承片台的中心位置设置有竖直的第一驱动轴;多个偏心盘,平行于中心盘设置,在中心盘的上方,均匀分布于承片台的外围,每一偏心盘的边缘设置有竖直的偏心指;且在每一偏心盘的下表面设置有竖直的第二驱动轴;第一驱动机构,与第一驱动轴连接;第二驱动机构,与每一偏心盘的第二驱动轴连接。本发明解决了现有的对晶片中心定位的装置,结构复杂,操作不便的问题。
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