发明授权
- 专利标题: 一种晶片中心定位装置
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申请号: CN201510957627.0申请日: 2015-12-21
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公开(公告)号: CN105702605B公开(公告)日: 2018-11-06
- 发明人: 刘宇光 , 衣忠波 , 杨生荣 , 张景瑞 , 贺东葛 , 白阳
- 申请人: 北京中电科电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室
- 专利权人: 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京中电科电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 安利霞
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/68
摘要:
本发明提供一种晶片中心定位装置。该晶片中心定位装置包括:水平设置的中心盘;用于放置晶片的承片台,承片台平行于中心盘设置,且位于中心盘的上方;在承片台的下表面,承片台的中心位置设置有竖直的第一驱动轴;多个偏心盘,平行于中心盘设置,在中心盘的上方,均匀分布于承片台的外围,每一偏心盘的边缘设置有竖直的偏心指;且在每一偏心盘的下表面设置有竖直的第二驱动轴;第一驱动机构,与第一驱动轴连接;第二驱动机构,与每一偏心盘的第二驱动轴连接。本发明解决了现有的对晶片中心定位的装置,结构复杂,操作不便的问题。
公开/授权文献
- CN105702605A 一种晶片中心定位装置 公开/授权日:2016-06-22
IPC分类: