具有电流阻挡结构的LED垂直芯片及其制备方法
Abstract:
本发明提供一种具有电流阻挡结构的LED垂直芯片及其制备方法,包括:提供生长衬底,在生长衬底上依次生长非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层及P型GaN层;在P型GaN层表面形成ITO透明导电层;在ITO透明导电层上蚀刻出第一开口及尺寸渐变的第二开口;在ITO透明导电层表面形成金属电极层;提供键合衬底,将键合衬底键合于金属电极层表面;依次去除生长衬底及非掺杂GaN层,并形成切割道;在N型GaN层表面形成N电极。本发明通过在ITO透明导电层上与N电极垂直投影位置蚀刻出第一开口,在第一开口外围蚀刻出自所述第一开口向外尺寸渐变的第二开口,形成良好的电流阻挡结构,缓解N电极下方电流的拥挤,提高电流的均匀分布,从而提高垂直结构LED的发光性能。
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