Invention Publication
- Patent Title: 具有电流阻挡结构的LED垂直芯片及其制备方法
- Patent Title (English): LED vertical chip possessing current blocking structure and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201510575405.2Application Date: 2015-09-11
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Publication No.: CN105609596APublication Date: 2016-05-25
- Inventor: 魏天使 , 童玲 , 吕孟岩 , 张宇 , 李起鸣 , 徐慧文
- Applicant: 映瑞光电科技(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区临港产业区新元南路555号金融中心211室
- Assignee: 映瑞光电科技(上海)有限公司
- Current Assignee: 映瑞光电科技(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区临港产业区新元南路555号金融中心211室
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 余明伟
- Main IPC: H01L33/00
- IPC: H01L33/00 ; H01L33/14

Abstract:
本发明提供一种具有电流阻挡结构的LED垂直芯片及其制备方法,包括:提供生长衬底,在生长衬底上依次生长非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层及P型GaN层;在P型GaN层表面形成ITO透明导电层;在ITO透明导电层上蚀刻出第一开口及尺寸渐变的第二开口;在ITO透明导电层表面形成金属电极层;提供键合衬底,将键合衬底键合于金属电极层表面;依次去除生长衬底及非掺杂GaN层,并形成切割道;在N型GaN层表面形成N电极。本发明通过在ITO透明导电层上与N电极垂直投影位置蚀刻出第一开口,在第一开口外围蚀刻出自所述第一开口向外尺寸渐变的第二开口,形成良好的电流阻挡结构,缓解N电极下方电流的拥挤,提高电流的均匀分布,从而提高垂直结构LED的发光性能。
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