发明公开
- 专利标题: 面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法
- 专利标题(英): Single-probe optical curved surface on-machine measurement method facing precision and ultra-precision machine tools
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申请号: CN201511009094.X申请日: 2015-12-28
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公开(公告)号: CN105606012A公开(公告)日: 2016-05-25
- 发明人: 赵清亮 , 符兴宇 , 郭兵 , 饶志敏 , 潘永成 , 杨冰
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 张利明
- 主分类号: G01B5/20
- IPC分类号: G01B5/20
摘要:
面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法,属于光学曲面测量技术领域。本发明是为了解决传统的误差分离测量方法采样间隔大,并不适用于表面起伏较大的光学镜面的问题。它通过直线滑台和位移传感器实现,使直线滑台在Z轴导轨方向的位置固定,使安装于机床主轴上的光学曲面沿X轴导轨的方向移动,在光学曲面的移动过程中,通过位移传感器沿X轴导轨方向测量光学曲面面形;将测得的N个光学曲面面形测量数据采用误差分离方法进行分离,获得光学曲面的真实面形误差与机床的直线度误差。本发明用于面形起伏较大的光学曲面在位测量。