面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法
摘要:
面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法,属于光学曲面测量技术领域。本发明是为了解决传统的误差分离测量方法采样间隔大,并不适用于表面起伏较大的光学镜面的问题。它通过直线滑台和位移传感器实现,使直线滑台在Z轴导轨方向的位置固定,使安装于机床主轴上的光学曲面沿X轴导轨的方向移动,在光学曲面的移动过程中,通过位移传感器沿X轴导轨方向测量光学曲面面形;将测得的N个光学曲面面形测量数据采用误差分离方法进行分离,获得光学曲面的真实面形误差与机床的直线度误差。本发明用于面形起伏较大的光学曲面在位测量。
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