发明公开
CN105588844A 芯片对数据库的接触窗检测方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 芯片对数据库的接触窗检测方法
- 专利标题(英): Die-to-database (D2DB) contact window detection method
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申请号: CN201410576461.3申请日: 2014-10-24
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公开(公告)号: CN105588844A公开(公告)日: 2016-05-18
- 发明人: 骆统 , 李筱玲 , 杨令武 , 杨大弘 , 陈光钊
- 申请人: 旺宏电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: G01N21/95
- IPC分类号: G01N21/95 ; G01Q30/02 ; G01R31/305
摘要:
本发明公开了一种芯片对数据库的接触窗检测方法,包括取得晶片中数个接触窗的实际影像,并对所述实际影像的位置进行译码,以得到图形文件。将图形文件与芯片的设计数据库(design database)对准。然后,对所述实际影像进行影像萃取,以得到接触窗的影像轮廓,随后测量接触窗的所述影像轮廓与上述设计数据库中的对应接触窗在关键尺寸上的差异,以得到晶片的接触窗检测结果。