芯片对数据库的接触窗检测方法
摘要:
本发明公开了一种芯片对数据库的接触窗检测方法,包括取得晶片中数个接触窗的实际影像,并对所述实际影像的位置进行译码,以得到图形文件。将图形文件与芯片的设计数据库(design database)对准。然后,对所述实际影像进行影像萃取,以得到接触窗的影像轮廓,随后测量接触窗的所述影像轮廓与上述设计数据库中的对应接触窗在关键尺寸上的差异,以得到晶片的接触窗检测结果。
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