发明授权
- 专利标题: 厚度测量方法
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申请号: CN201510863582.0申请日: 2015-11-30
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公开(公告)号: CN105371773B公开(公告)日: 2018-04-10
- 发明人: 任项生 , 罗卫强
- 申请人: 广东长盈精密技术有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业西三路6号
- 专利权人: 广东长盈精密技术有限公司
- 当前专利权人: 广东长盈精密技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业西三路6号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 何平
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06 ; G01B11/30
摘要:
本发明涉及一种厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤:所述第一测量探头与所述第二测量探头分别测量自身与所述基准块相对的两个表面之间的距离D1、D2;计算所述基准块的测量厚度E=L‑D1‑D2,并计算厚度补偿值F=E‑D,其中L为所述第一测量探头的预设移动平面与所述第二测量探头的预设移动平面之间的距离,D为所述基准块的厚度真值;所述第一测量探头与所述第二测量探头分别测量自身与所述待测工件相对的两个表面的之间的距离d1、d2;根据计算式d=L‑d1‑d2‑F获取所述待测工件的厚度值d。所述厚度测量方法的测量效率较高且精度较高。
公开/授权文献
- CN105371773A 厚度测量方法 公开/授权日:2016-03-02