厚度测量方法
摘要:
本发明涉及一种厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤:所述第一测量探头与所述第二测量探头分别测量自身与所述基准块相对的两个表面之间的距离D1、D2;计算所述基准块的测量厚度E=L-D1-D2,并计算厚度补偿值F=E-D,其中L为所述第一测量探头的预设移动平面与所述第二测量探头的预设移动平面之间的距离,D为所述基准块的厚度真值;所述第一测量探头与所述第二测量探头分别测量自身与所述待测工件相对的两个表面的之间的距离d1、d2;根据计算式d=L-d1-d2-F获取所述待测工件的厚度值d。所述厚度测量方法的测量效率较高且精度较高。
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