- 专利标题: 用于增强红外光谱探测的石墨烯等离激元器件及制备方法
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申请号: CN201510792417.0申请日: 2015-11-17
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公开(公告)号: CN105355702B公开(公告)日: 2017-04-19
- 发明人: 胡海 , 胡德波 , 白冰 , 刘瑞娜 , 杨晓霞 , 戴庆
- 申请人: 国家纳米科学中心
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北一条11号
- 专利权人: 国家纳米科学中心
- 当前专利权人: 国家纳米科学中心
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北一条11号
- 代理机构: 北京律恒立业知识产权代理事务所
- 代理商 顾珊; 庞立岩
- 主分类号: H01L31/101
- IPC分类号: H01L31/101 ; H01L31/0236 ; H01L31/028 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供了一种用于增强红外光谱探测的石墨烯等离激元器件,包括:自下而上依次设置的衬底、电介质层、石墨烯层、源极与漏极金属层,以及待检测物质;其中,衬底同时作为栅极,电介质层沉积在衬底上,石墨烯层覆盖于电介质层之上,源极与漏极金属层沉积在石墨烯层上,源极与漏极金属层由石墨烯导通,衬底与石墨烯层之间夹着电介质层;源极与漏极金属层之间的石墨烯层的局部区域具有周期性微纳米结构;周期性微纳米结构包含多个连续纵剖面为台阶状的结构,待测材料层设置以覆盖台阶状的结构;电介质层的材料选自:NaCl,KBr,CsI,CsBr,MgF2,CaF2,BaF2,LiF,AgBr,AgCl,ZnS,ZnSe,KRS‑5,AMTIR1‑6,Diamond,SiO2。
公开/授权文献
- CN105355702A 用于增强红外光谱探测的石墨烯等离激元器件及制备方法 公开/授权日:2016-02-24
IPC分类: